| Deutsch |
English |
| Substantive |
nouns |
| Elektronenstrahlen |
electron beams |
| Sprachgebrauch |
usage |
| Abtragen mit Elektronenstrahlen |
electron-beam machining /EBM/ |
| Die Verwendung von Ionen- oder Elektronenstrahlen oder von Plasma zur Einleitung oder Förderung des Abscheidungsvorgangs ist ebenfalls eine übliche Variante dieses Verfahrens. |
The use of ion or electron beams, or plasma, to activate or assist the coating's deposition is also a common modification in this technique. |
| Elektronenstrahlen oder |
Electron beam; or |
| :Anlagen, besonders konstruiert für die Maskenherstellung oder die Herstellung von Halbleiterbauelementen, die abgelenkte, fokussierte Elektronenstrahlen, Ionenstrahlen oder "Laser"strahlen verwenden, mit einer der folgenden Eigenschaften: |
Equipment specially designed for mask making or semiconductor device processing using deflected focussed electron beam, ion beam or "laser" beam, having any of the following |
| Verwendung von abgelenkten, fokussierten Elektronenstrahlen, Ionenstrahlen oder „Laser“strahlen und |
using deflected focussed electron beam, ion beam or "laser" beam; and |
