| Da die Betriebsvoraussetzungen unterschiedlicher REM sich voneinander unterscheiden können, sind bei Materialien mit relativ geringer Atommasse Beschleunigungsspannungen von 5-10 keV zu verwenden, um eine möglichst gute Sichtbarkeit und Auflösung zu erreichen; dabei ist eine geringe Punktgröße und ein kurzer… |
Although the operational requirements of different SEMs may vary, generally to obtain the best visibility and resolution, with relatively low atomic weight materials, accelerating voltages of 5-10 keV should be used with a small spot size setting and… |
