ä=ae | ö=oe | ü=ue | ß=ss
Sputtern englisch | Sputtern translation
Deutsch
English
Sprachgebrauch
usage
Kathodenzerstäubungsbeschichtung
(
Sputtern
/
Aufstäuben
)
ist
ein
Verfahren
zur
Herstellung
von
Auflageschichten
,
das
auf
dem
Prinzip
der
Impulsübertragung
beruht
.
Dabei
werden
positiv
geladene
Ionen
mit
Hilfe
eines
elektrischen
Feldes
auf
die
Oberfläche
eines
Targets
(
Beschichtungsmaterial
)
geschossen
.
Sputter
Depositio
n
is
an
overlay
coating
process
based
on
a
momentum
transfer
phenomenon
,
wherein
positive
ions
are
accelerated
by
an
electric
field
towards
the
surface
of
a
target
(
coating
material
).
Kathodenzerstäubungsbeschichtung
(
Sputtern
/
Aufstäuben
)
Sputter
Deposition
Dies
schließt
Verfahren
ein
,
bei
denen
neben
der
Ionenimplantation
gleichzeitig
das
PVD
-
Beschichten
mittels
Elektronenstrahl
und
das
Sputtern
/
Aufstäuben
zur
Anwendung
kommen
.
This
includes
processes
in
which
ion
implantation
is
performed
simultaneously
with
electron
beam
physical
v
apour
deposition
or
sputter
deposition
.