| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| besonders konstruiert und optimiert, um bei einer Elektronenenergie (Beschleunigungsspannung) kleiner als 2 keV zu arbeiten, | Being specially designed and optimised to operate at a beam energy (accelerating voltage) of less than 2 keV; |
| Elektronenenergie größer/gleich 65 keV und Strahlstrom größer/gleich 45 mA für das Implantieren von Sauerstoff mit hoher Energie in ein erhitztes Halbleiter"substrat"; | A beam energy of 65 keV or more and a beam current of 45 mA or more for high energy oxygen implant into a heated semiconductor material "substrate"; |
| Elektronenenergie (Beschleunigungsspannung) größer als 1 MeV, | A beam energy (accelerating voltage) exceeding 1 MeV; |