| Maschinen, Apparate und Geräte ausschließlich oder hauptsächlich a) zur Herstellung oder zur Reparatur von Masken und Retikeln (Maskenvorlagen), b) zur Montage von Halbleiterbauelementen oder elektronischen integrierten Schaltungen, und c) zum Heben, Fördern, Laden und Entladen von Halbleiterbarren (boules), Halbleiterscheiben (wafers… |
Machines and apparatus used solely or principally for (a) the manufacture or repair of masks and reticles, (b) assembling semiconductor devices or electronic integrated circuits, and (c) lifting, handling, loading or unloading of boules, wafers… |
