ä=ae | ö=oe | ü=ue | ß=ss
Kassettenbetrieb englisch | Kassettenbetrieb translation
Deutsch
English
Sprachgebrauch
usage
:
Ausrüstung
mit
Kassettenbetrieb
und
Ladeschleusen
und
mit
einer
der
folgenden
Eigenschaften
:
Equipmen
t
with
cassette
-
to
-
cassette
oper
ation
and
load
-
locks
,
and
having
any
of
the
following
Ausrüstung
mit
Kassettenbetrieb
und
Ladeschleusen
sowie
entwickelt
gemäß
Herstellerangaben
oder
optimiert
für
die
Verwendung
bei
der
Herstellung
von
Halbleiterbauelementen
mit
einem
CD
-
Wert
(
critical
dimensions
)
von
kleiner
/
gleich
180
nm
,
Equipm
ent
with
cassette
-
to
-
cassette
op
eration
and
load
-
locks
,
and
designed
according
to
the
manufacturer's
specifications
or
optimised
for
use
in
the
production
of
semiconductor
devices
with
critical
dimensions
of
180
nm
or
less
;
