| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| :Hetero-epitaxiale Werkstoffe aus einem "Substrat", das mehrere Epitaxieschichten aus einem der folgenden Materialien enthält: | Hetero-epitaxial materials consisting of a "substrate" having stacked epitaxially grown multiple layers of any of the following |
| Apparate und Vorrichtungen zum Aufbringen von Epitaxieschichten auf Halbleiterscheiben (wafers) | Apparatus for epitaxial deposition on semiconductor wafers |