| English | Deutsch |
|---|---|
| nouns | Substantive |
| Step and repeat aligners | Waferstepper |
| usage | Sprachgebrauch |
| Apparatus for the projection or drawing of circuit patterns on sensitised semiconductor materials (excl. direct write-on wafer apparatus and step and repeat aligners) | Apparate zum Projizieren oder Aufbringen von Schaltmustern auf sensibilisierte Halbleitermaterialien (ausg. Elektronenstrahldirektschreiber und Waferstepper) |