| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| Apparate zum Projizieren oder Aufbringen von Schaltmustern auf sensibilisierte Halbleitermaterialien (ausg. Elektronenstrahldirektschreiber und Waferstepper) | Apparatus for the projection or drawing of circuit patterns on sensitised semiconductor materials (excl. direct write-on wafer apparatus and step and repeat aligners) |