| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| Anmerkung:Unternummer 3B001e erfasst nicht automatische Robotersysteme für das Waferhandling, die nicht für den Betrieb im Vakuum ausgelegt sind. | Note:3B001.e. does not control automatic robotic wafer handling systems not designed to operate in a vacuum environment. |