| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| 'Silylation'-Techniken sind Verfahren, bei denen Oxydation innerhalb der Resistschicht zur Verbesserung der Nass- und Trockenentwicklung angewendet wird. | 'Silylation' techniques are defined as processes incorporating oxidation of the resist surface to enhance performance for both wet and dry developing. |