| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| Anmerkung:Nummer 1E104 gilt auch für "Technologie" für die Bildung von Vorstufengasen, Durchflussraten sowie Prozesssteuerungsplänen und -parametern. | Note:1E104 includes "technology" for the composition of precursor gases, flow-rates and process control schedules and parameters. |