| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| Verwendung einer "Technologie" mit minimalen Strukturbreiten größer/gleich 0,5 μm und | Using "technology" of 0,5 μm or more, and |
| geeignet, ‚kleinste auflösbare Strukturbreiten‘ von kleiner/gleich 180 nm zu erzeugen, | capable of producing a pattern with a "minimum resolvable feature size" of 180 nm or less; |