ä=ae | ö=oe | ü=ue | ß=ss
MEMS deutsch | MEMS in German
⇄ Deutsch
English
Deutsch
usage
Sprachgebrauch
at
least
one
or
more
microelectromechanical
sensor
elements
(
MEMS
)
manufactured
with
semiconductor
technology
,
with
mechanical
components
arranged
in
three
-
dimensional
structures
on
the
semiconductor
material
mindestens
einem
oder
mehreren
mikromechanischen
Senso
relement
(
en
) (
MEMS
)
mit
mechanischen
Elementen
in
dreidimensionalen
Strukturen
auf
dem
Halbleitermaterial
in
Halbleitertechnik
gefertigt
one
or
more
microelectromechanical
sensor
elements
(
MEMS
)
manufactured
with
semiconductor
technology
,
with
mechanical
components
arranged
in
three
-
dimensional
structures
on
the
semiconductor
material
einem
oder
mehreren
mikromechanischen
Sensore
lement
(
e
n
) (
MEMS
)
mit
mechanischen
Elementen
in
dreidimensionalen
Strukturen
auf
dem
Halbleitermaterial
in
Halbleitertechnik
gefertigt
,
Deutsch
English
Sprachgebrauch
usage
mindestens
einem
oder
mehreren
mikromechanischen
Sensorelement
(
en
) (
MEMS
)
mit
mechanischen
Elementen
in
dreidimensionalen
Strukturen
auf
dem
Halbleitermaterial
in
Halbleitertechnik
gefertigt
at
least
one
or
more
microelectromechanical
sensor
elements
(
MEMS
)
manufa
ctured
w
ith
semiconductor
technology
,
with
mechanical
components
arranged
in
three
-
dimensional
structures
on
the
semiconductor
material
einem
oder
mehreren
mikromechanischen
Sensorelement
(
en
) (
MEMS
)
mit
mechanischen
Elementen
in
dreidimensionalen
Strukturen
auf
dem
Halbleitermaterial
in
Halbleitertechnik
gefertigt
,
one
or
more
microelectromechanical
sensor
elements
(
MEMS
)
man
ufacture
d
with
semiconductor
technology
,
with
mechanical
components
arranged
in
three
-
dimensional
structures
on
the
semiconductor
material