ä=ae | ö=oe | ü=ue | ß=ss
microelectromechanical deutsch | microelectromechanical in German
English
Deutsch
usage
Sprachgebrauch
at
least
one
or
more
microelectromechanical
sensor
elements
(
MEMS
)
manufactured
with
semiconductor
technology
,
with
mechanical
components
arranged
in
three
-
dimensional
structures
on
the
semiconductor
material
mindest
ens
einem
oder
mehreren
mikromechanischen
Se
nsorelement
(
en
) (
MEMS
)
mit
mechanischen
Elementen
in
dreidimensionalen
Strukturen
auf
dem
Halbleitermaterial
in
Halbleitertechnik
gefertigt
one
or
more
microelectromechanical
sensor
elements
(
MEMS
)
manufactured
with
semiconductor
technology
,
with
mechanical
components
arranged
in
three
-
dimensional
structures
on
the
semiconductor
material
einem
oder
mehreren
mikromechanischen
Senso
relement
(
en
) (
MEMS
)
mit
mechanischen
Elementen
in
dreidimensionalen
Strukturen
auf
dem
Halbleitermaterial
in
Halbleitertechnik
gefertigt
,
