| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| einer Siliziumschicht mit einer gleichmäßigen Schichtdicke mit weniger als ± 2,5 % Abweichung auf einer Strecke von größer/gleich 200 mm oder | A silicon layer with a thickness uniform to less than ± 2,5 % across a distance of 200 mm or more; or |