| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| Matrizen (templates) für die Imprintlithographie, entwickelt für von Nummer 3A001 erfasste integrierte Schaltungen. | i. Imprint lithography templates designed for integrated circuits specified in 3A001. |
| Anlagen für die Imprintlithographie, geeignet für die Herstellung von Strukturen kleiner/gleich 180 nm, | Imprint lithography equipment capable of producing features of 180 nm or less; |