| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| Apparate zum Nassätzen, Entwickeln, Ablösen und Reinigen (Resistentfernung) von Halbleiterscheiben (wafers) oder Trägermaterialien für Flachbildschirmanzeigen | Apparatus for wet etching, developing, stripping or cleaning semiconductor wafers or flat panel display substrates |