| English | Deutsch |
|---|---|
| usage | Sprachgebrauch |
| All resists designed for use with electron beams or ion beams, with a sensitivity of 0,01 µcoulomb/mm2 or better; | alle Fotoresists, entwickelt zur Verwendung mit Elektronen- oder Ionenstrahlen mit einer Empfindlichkeit besser/gleich 0,01 µC/mm2; |