| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| Herstellungsausrüstung für die Ionenimplantation mit Strahlströmen größer/gleich 5 mA; | ion implantation production equipment having beam currents of 5 mA or more; |
| "speicherprogrammierbare" Herstellungsausrüstung für die Ionenimplantation mit Strahlströmen größer/gleich 5 mA; | "Stored programme controlled" ion implantation production equipment having beam currents of 5 mA or more; |