| Deutsch | English |
|---|---|
| Sprachgebrauch | usage |
| Andere Probenahmeeinstellungen des Partikelübertragungssystems sind zulässig, wenn ein gleichwertiger Partikeldurchsatz in der Größenordnung von 30 nm nachgewiesen wird. | Any other sampling configuration for the PTS for which equivalent particle penetration at 30 nm can be demonstrated will be considered acceptable. |